2.5次元

MODEL

VMS-2010F

VMS-3020F

VMS-4030F

VMS-5040F

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

200*100*150

300*200*150

400*300*150

500*400*150

外形尺寸

540x560x850

760x600x900

970x670x940

970x770x940

机台底座材料

高精度花岗石

照明系统

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

CCD

高解析度日本索尼彩色CCD

X,Y轴量测精度

（3+L/200）um

放大倍率

Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光学尺解析度

1 um

重复性

2 um

操作方式

手动

电源供给

110V/220V